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MOCVD設備PRISMO HiT3過濾器濾芯

該設備是適用于高質量氮化鋁和高鋁組分材料生產的關鍵設備，反應腔高溫度可達1400度，具有優異的工藝重復性、均勻性和低缺陷率。該設備同時也為高產量而設計，單爐可生長18片2英寸外延晶片，并可延伸到生長4英寸晶片。 中微公司Prismo HiT3 MOCVD設備早期的客戶包括國內的深紫外LED制造商馬鞍山杰生半導體有限公司，該公司的深紫外LED在家用、醫療和科研設備等領域有廣泛應用。 深紫外光幾十年前就被應用于工業和民用消毒殺菌領域。它通過破壞細菌和病毒的DNA使其喪失繁殖能力來發揮作用。深紫外LED被用于不同波長的殺菌燈中，且與傳統的汞燈相比對環境無污染。類似SARS、MERS和新冠病毒的出現使得深紫外LED產品的需求激增，深紫外LED產品可以消滅這些新生微生物。波長260-280nm的UVC波段的深紫外光就是目前該領域先進的技術解決方案（例如杰生半導體的深紫外LED產品）。 中微公司設計的Prismo HiT3MOCVD設備具有新穎的腔體設計，能在高溫環境下生長高質量氮化鋁工藝，同時具備較長的平均免開腔維護間隔時間，進一步延長正常運行時間并提高產能。真空自動化傳輸系統可以抑制顆粒物的產生，并減少缺陷。自動化升降機構可方便維護操作并有效節省維護時間。 “我們現在已經看到了深紫外LED帶來的切實好處，它已成為消滅有害病原體的重要工具。”杰生半導體有限公司董事長康健說道，“隨著深紫外LED技術的持續發展，我們為能夠在公共和家庭消毒產品領域處于地位而感到自豪。中微公司設計的Prismo HiT3 MOCVD設備可以滿足深紫外LED大批量、低生產成本的制造需求。